Với đồng vị 38Si sẽ có các trường hợp sau đây xảy ra:
- 1 nguyên tử 38Si liên kết với 4 nguyên tử 35Cl
- 1 nguyên tử 38Si liên kết với 3 nguyên tử 35Cl và 1 nguyên tử 37Cl
- 1 nguyên tử 38Si liên kết với 2 nguyên tử 35Cl và 2 nguyên tử 37Cl
- 1 nguyên tử 38Si liên kết với 1 nguyên tử 35Cl và 3 nguyên tử 37Cl
- 1 nguyên tử 38Si liên kết với 4 nguyên tử 37Cl
Tương tự với đồng vị 39Cl sẽ có 5 phân tử SiCl4 được tạo thành
=> Từ các đồng vị trên sẽ có 5.2=10 phân từ SiCl4 được tạ thành